美国Virtual VWT-250125PF晶圆吸盘耐高温铁氟龙

美国Virtual VWT-250125PF 真空吸笔参数规格介绍

美国Vitual专注于真空吸取搬运解决方案，提供各种晶圆吸笔用于处理硅晶片、晶圆、电池片、蓝宝石晶片、外延片、玻璃平板等敏感器件。每个晶圆吸笔都经过测试，以确保符合Class 1洁净要求，是晶圆镊子的替代工具，对元件无损伤风险，通过长管和配件连接电池式电动真空吸笔。Vitual晶圆吸盘包括Peek材质和耐高温铁氟龙涂层，适合4寸、6寸、8寸及12寸晶圆拾取。

Virtual电池式电动吸笔专用晶圆吸盘型号

■ PEEK塑料吸盘，ESD防静电，耐温100℃，柄长78.74mm

VMWT-A吸盘：长宽尺寸35.56mm x 12.70mm，拾取 4” (100mm) wafers

VMWT-B吸盘：长宽尺寸35.56mm x 33.02mm，拾取6” (150mm) wafers

VMWT-C吸盘：长宽尺寸53.34mm x 35.56mm，拾取8” (200mm) wafers

（可订购上弯或下弯头型号，10°、20°、30°弯曲，如VMWT-A20D表示 20度向下弯曲，“U”上弯、“D”下弯）

（可订购左弯或右弯曲型号，10°、20°弯曲，如VMWT-C20R表示向右弯曲20度，“L”左弯、“R”右弯）

VMWT-D用于处理更大尺寸的晶片，长宽尺寸78.74mm x 53.34mm

另可选购防止转动的适配头VMWT-ADAPT-AR：ESD-Safe Anti Rotate Tip Adaptor

VWT-5R-AR：圆形12寸晶圆吸盘，空压式晶圆吸笔，中心有孔减少接触面，外经127mm，处理12" 300mm晶圆

■ 铝制铁氟龙涂层吸盘（聚四氟乙烯），耐高温250℃，直柄长度76.20mm

VWT-100075PF耐高温铁氟龙晶圆吸笔头，尺寸26.67mm x 19.05mm，厚3.30mm，处理4” (100mm) wafers，耐温250℃

VWT-170110PF耐高温铁氟龙晶圆吸笔头，长宽尺寸43.18mm x 27.94mm，handles up to 6” (150mm) wafers

VWT-250125PF耐高温铁氟龙晶圆吸盘，长宽尺寸63.50mm x 31.75mm，8” (200mm) wafers

（如需定制特殊加长杆信号，请加后缀-XL，"X"为总长度数字；定制弯曲型号后缀加-YD，“Y”为弯曲度）

（VWT-250125-PF20D表示同VWT-250125-PF型号，下弯20°；VWT-100075-PF20R同VWT-100075-PF，右弯曲20°）

赛浦斯VIRTUAL晶圆吸盘规格文档http://www.testeb.com/download/201710/Virtual_Wafer_Tips.pdf

常用的Vitual电池式圆吸笔

VPW6300-VWT5R-220：充电式，配VWT-5R-AR圆形晶圆吸盘，空压式吸笔，处理12" 300mm晶圆

VPW6000AR-MW8充电式晶圆吸笔：指示灯提示电量，预防产晶掉落，8寸硅片等产品使用

PV4000A电池式晶圆吸笔：可更换9V直流电池，配2、4、6、8寸吸笔头使用，符合防静电规格

V3200-CLN-MW6电池式晶圆吸笔：内置真空发生器不用外接气源，9V电池可更换，配4~8寸吸笔头，洁净室标准